正排氣型(Positive Displacement)真空泵浦選用須知

正排氣型(Positive Displacement)真空泵浦選用須知

排氣速度之決定
真空泵浦的排氣速度( Pumping Speed)係指抽氣時在進氣口端的體積流率( Volume Rate)，常用單位為m3/hr或Liter/min 。真空泵浦排氣速度之大小會影響真空系統(tǒng)到達指定真空度所需要的時間。當系統(tǒng)抽真空時，真空泵浦的排氣速度會隨著真空度上升而呈曲線下降。當真空泵浦到達*高真空時，其排氣速度降為零。我們在選用真空泵浦時，應避免於排氣性能陡降區(qū)使用，以維持真空系統(tǒng)之穩(wěn)定性。

如果真空抽氣之氣體含水分或粉塵，建議使用液封式真空泵較為適合。

（2）由容器內(nèi)發(fā)生及漏入氣體來選擇

例1. 設一真空系統(tǒng)之總?cè)莘eV=5,000公升，要求壓力在10分鐘內(nèi)由760 Torr抽至10 Torr，試選定適當之真空泵浦。
真空系統(tǒng)入口壓力P1=760 Torr， 指定真空度壓力P2=10 Torr

Step 1：
P1/P2=760/10=76  查Fig-2 中 P1/P2 的座標軸76的位置點 "A"
系統(tǒng)要求抽氣時間為10分鐘，查Fig-2 中 t 座標軸10分鐘之位置點 "B"
兩點劃一直線相交於轉(zhuǎn)換線點 "C" 位置

Step 2：
真空系統(tǒng)之總?cè)莘e V=5,000公升，查 Fig-2 中 V 座標軸5000的位置點 "D"。
將 C 點及 D 點劃一直線交於Fig-2 中 座標軸的位置點 "E"

Step 3:
由Fig.2得 E 點 =2,100 Liter /min
查Fig-1 於10 Torr 壓力下之**係數(shù) K=1.3
於壓力 10 Torr 時系統(tǒng)要求之真空泵浦排氣速度為：
S: K=1.3×2100=2,730 Liter /min

Step 4：
查型錄真空泵浦性能表，SR-6型單段油迴轉(zhuǎn)真空泵符合系統(tǒng)要求。
(選用SR-6)。

例2. 設一真空系統(tǒng)操作為0.1 Torr而由大氣漏入系統(tǒng)之氣體量為0.25 Liter/min，試選定適當之真空泵浦。

Step 1：
漏入氣體量Q = 0.25 × 760 = 190 (Torr × Liter/min)

Step 2：
查Fig-1 於0.1 Torr 壓力下之**係數(shù)K = 2.5
因此壓力0.1Torr時的排氣速度
S = K Q / P = 2.5 × 190 / 0.1 = 4,750 Liter /min

Step 3:
參考油迴轉(zhuǎn)真空泵浦之性能表SR型之容積效率約61%
得出系統(tǒng)要求之真空泵設計排氣速度＝4,750/0.61=7,787 Liter/min
查型錄真空泵浦性能表，SR-9型單段油迴轉(zhuǎn)真空泵符合系統(tǒng)要求。
（選用SR-9）